半導体

Click to enlarge

キータスパイア® PEEK およびトーロン® PAI はその優れた特性により、半導体産業全体で幅広く、特に高温加工が必要な場所で使用されています。これらの製品は高温と低温で寸法安定性が高く、清浄で汚染物質のない表面を提供し、高活性薬品、強酸、または溶剤の影響を受けません。

これらの超高機能性樹脂は、ウエハー処理、ベアリング表面、加工容器、部品搬送装置、および IC 試験装置のソケットやハンドラーに使用されている金属部品の代替材料として特に適しています。詳細については、上記のリンクを選択してください。

サポートについては、担当者にお問い合わせください。

代表的な用途

  • 半導体の製造および試験
  • CMP リング
  • ウエハー搬送装置
  • エッチリング
  • ピンおよび固定具
  • 加工中に使用するトレイおよび搬送媒体

製品の比較


 キータスパイア® PEEKトーロン® PAIソレフ® PVDF
低い粉じん発生 
高純度、低い浸出物/抽出物発生(塩素イオンなど)良好良好
アウトガス、残留溶剤良好良好
低い水分吸収良好良好
耐薬品性
    酸良好良好
   アルカリ良好良好
   有機薬品良好良好
強度
伸び、延性